繁茂三月,萬物生長。2024年03月31日上午,山東大眾日報一行記者來到山東聯盛公司,深入了解企業的生產情況,并對企業的基本情況、生產情況和規劃目標作了詳細了解。

首先我們來到了公司會議室,為大眾日報記者介紹了企業的基本情況:山東聯盛電子設備有限公司成立于2014年,現有職工99人,是集半導體芯片濕制程設備的生產、研發、銷售、服務于一體的高新技術企業,公司研發團隊20人,公司目前已申請國家專利35項,其中發明專利9項,軟著6項,并獲得省級“專精特新”企業、高新技術企業等多項資質證書。為打破芯片清洗行業設備被國外設備壟斷的現象,公司決定擴大高端濕法半導體芯片清洗設備生產規模。

隨后,陪同大眾日報記者一行參觀了聯盛公司的生產車間,深入了解企業的生產情況。我們的設備主要用于清洗和處理在半導體制造過程中產生的晶圓表面及其上的雜質。其基本工作原理是利用物理、化學反應和水力學原理,將清潔溶液進行噴淋、浸泡、攪拌,以去除晶圓表面的各種雜質。根據清洗溶液的不同,可以將晶圓清洗設備分為酸洗、堿洗、氧化洗和超聲波清洗等類型。

我們的全自動腐蝕機設備主體使用進口勞士領象牙白10mm厚PP板材,結構設計充分考慮長期工作在酸腐蝕環境,堅固耐用,雙層防漏,機臺底盤采用勞士領象牙白PP板,焊接而成,可長期工作在酸堿腐蝕環境中。主要性能指標:清洗能力:30片每批;產能:800片/8小時;MTBF:>1000 hrs;MTTR:<4 hrs;Uptime:>95%;擺譬速度:酸槽至水槽機械臂行走時間0.8S~1.5S可調;TTV: ≤1.5μm,邊緣 3mm 除外,達到90%以上。

每一個聯盛生產的設備,都經過了全方位的嚴格質檢,層層把關,確保了產品的質量。我們先局部加工,提前測試,試運行檢測設計的合理性和穩定性。

感謝大眾日報記者的采訪與宣傳,為聯盛樹立品牌形象。
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