投資50.6億!全國(guó)首條8英寸MEMS晶圓全自動(dòng)生產(chǎn)線即將批量生產(chǎn)……
作為全國(guó)首條8英寸MEMS晶圓全自動(dòng)生產(chǎn)線
安徽華鑫微納集成電路有限公司
8英寸晶圓生產(chǎn)線
于今年五月份
完成首批產(chǎn)品成功串線后
加快產(chǎn)品研發(fā)
預(yù)計(jì)九月底前進(jìn)入量產(chǎn)階段

安徽華鑫微納集成電路有限公司主要從事MEMS晶圓制造,可加工產(chǎn)品涵蓋慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS器件等,主要應(yīng)用于高端裝備、汽車(chē)電子等領(lǐng)域。8英寸晶圓生產(chǎn)線項(xiàng)目是全國(guó)首條8英寸MEMS晶圓全自動(dòng)生產(chǎn)線、全國(guó)首條工藝設(shè)備配套齊全的壓電MEMS量產(chǎn)線。全部建成投產(chǎn)后,將具備月產(chǎn)3萬(wàn)片晶圓的能力,成為國(guó)內(nèi)產(chǎn)出最大的MEMS晶圓生產(chǎn)線。

華鑫微納項(xiàng)目相關(guān)負(fù)責(zé)人表示,項(xiàng)目目前已經(jīng)完成所有設(shè)備的進(jìn)場(chǎng)和安裝 目前正在處于11款主要產(chǎn)品的工藝調(diào)試,預(yù)計(jì)在9月底之前會(huì)進(jìn)入批量生產(chǎn)階段。

華鑫微納8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線位于中國(guó)傳感谷D區(qū),建設(shè)投資50.6億元,用地面積約154畝,總建筑面積8.7萬(wàn)平方米,定位為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的8英寸MEMS晶圓代工企業(yè)以及國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的“開(kāi)放式、定制化MEMS代工平臺(tái)基地”。這意味著,智能傳感器的核心部件——MEMS芯片,將在蚌埠生產(chǎn)并向全球的智能傳感器企業(yè)供貨,為整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈安全提供有力支撐。

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