1、機(jī)臺(tái)采用進(jìn)口勞士領(lǐng)板材，長(zhǎng)期可工作在酸腐蝕環(huán)境，堅(jiān)固耐用，雙層防漏 。
2、采用外置大酸槽制冷循環(huán)到小酸槽的結(jié)構(gòu)，可腐蝕開(kāi)溝4“，5”，6“硅片。
3、全自動(dòng)運(yùn)行設(shè)計(jì)，操作方便安全。
4、溫控能力RT~-20°C，溫控精度±1°C。
5、制冷盤(pán)管專(zhuān)利設(shè)計(jì)，長(zhǎng)時(shí)間使用不會(huì)腐蝕，直接制冷效果佳。
6、開(kāi)溝均勻，130μm可達(dá)±3μm。
7、控制部分采用進(jìn)口品牌PLC 和HMI；
8、機(jī)臺(tái)前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮?dú)鈽尭?只置于右側(cè)。
9、設(shè)備設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)按半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（SEMI-S2-93）執(zhí)行，ISO9001質(zhì)量管理體系進(jìn)行規(guī)范和保證。
10、國(guó)內(nèi)發(fā)明專(zhuān)利號(hào)：ZL20140082522.0
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